六氟丁二烯

用途：刻蚀
主要应用领域：六氟丁二烯主要应用于大规模集成电路先进制程的刻蚀工艺,与传统刻蚀气体相比,六氟丁二烯刻蚀速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好,在先进制程中应用前景广阔,公司生产的六氟丁二烯产品纯度达4N,产品用于多家半导体厂生产。半导体的等离子蚀刻刻蚀,，优良的干蚀刻气体。含氟橡胶、合成含氟弹性体和电性能优良的树脂。全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。