砷化氢（AsH3）

中文名：砷化氢
外文名：Arsine
别名：砷烷、砷化三氢、胂
化学式：AsH3
分子量：77.945
CAS登录号：7784-42-1
EINECS登录号：232-066-3
熔点：-116 ℃
沸点：-62 ℃
水溶性：可溶
密度：4.93 kg/m³（气体）
外观：无色气体
闪点：-110 ℃
安全性描述：S9；S16；S28；S33；S36/37；S45；S60；S61
危险性符号：F+；T+；N
危险性描述：R12；R

气体介绍

砷烷用于半导体工业中，如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓（GaAs）、磷砷化镓（GaAsP）以及与某些元素形成化合物半导体。该产品在半导体工业中用于外延、ｎ型掺杂、扩散和离子注入工艺，以及磷化镓薄膜的生产。用于有机合成、军用毒气，及应用于科研或某些特殊实验中。