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一氟甲烷(CH3F)

中文名:氟甲烷
外文名:fluoromethane
别 名:甲基氟
化学式:CH3F
分子量:34.0329
CAS登录号:593-53-3
EINECS登录号:209-796-6
熔 点:-115 ℃
沸 点-79 ℃
外 观:无色气体
危险性符号:F+
危险性描述:R12

气体介绍

      高纯一氟甲烷HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气,它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜,可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。

产品规格

纯度 钢瓶规格 阀门型号 充装质量
3N-4N5 10L DISS724 按客户要求
3N-4N5 47L DISS724 按客户要求
  吨位级   按客户要求

 

 

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