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中文名：六氟化钨
外文名：Tungsten hexafluoride
别 名：氟化钨(VI)
化学式：WF6
分子量：297.830
CAS登录号：7783-82-6
EINECS登录号：232-029-1
熔 点：2.3 ℃
沸 点：17.5 ℃
密 度：13.1 kg/m³
外 观无色气体
安全性描述：S26；S36/37/39；S45
危险性符号：T；C
危险性描述：R23/24/25；R34
气体简介
在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层，可用于X-射线的发射电极。此外，WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等的原材料。
理化性质: 能与许多物质发生化学反应，遇潮湿、空气或水分解，散发剧毒和有腐蚀性的氟化氢烟雾。腐蚀性很强，能侵蚀几乎所有的金属，能迅速腐蚀湿的玻璃。
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项目名称 |
纯度指标（%） | |
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六氟化钨 |
≥99.999 | |
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杂质含量（ppm)
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二氧化碳（CO2） |
≤0.5 |
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氮气（N2） |
≤1 | |
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氧气+氩气（O2+Ar） |
≤0.5 | |
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一氧化碳（CO) |
≤0.5 |
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| 四氟化碳（CF4） |
≤0.5 |
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| 三氟化氮（NF3） |
≤0.5 |
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| 四氟化硅 (SiF4) |
≤0.5 |
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| 氟化氢（HF） |
≤5 |
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| 金属离子（Metals) |
≤1.5 |
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包装规格
| 纯度 | 气瓶规格 | 充装质量 | 阀门型号 |
| ≥99.999% | 40L/47L | 100Kg | CGA638 |
也可根据客户需要，分装到4-10L的气瓶中
联系人：王经理
手 机：13645718877
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公 司：杭州汇邦化工有限公司
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